scia Systems GmbH

scia Systems konstruiert und fertigt komplexe Vakuumprozesssysteme mit eigen entwickelten Ionenstrahl- und Plasmaquellen. Die innovativen Plasma- und Ionenstrahltechnologien werden vor allem in der Mikroelektronik und der Präzisionsoptikfertigung eingesetzt. Das Unternehmen bietet seinen Kunden dabei eine Produktpalette von der Einzelwaferbearbeitung bis hin zu Batch-Systemen. Zudem werden Cluster Systeme entsprechend kundenspezifischer Anforderungen entwickelt.

Die scia Systems GmbH wurde 2013 in Chemnitz gegründet. Mit der VON ARDENNE GmbH als Mehrheitseigner hat scia Systems einen starken Partner bei der Etablierung ihrer Technologien auf dem weltweiten Markt.

Technologie Portfolio • Ion Beam Etching and Milling (IBE/IBM) • Dual Ion Beam Deposition (DIBD) • Ion Beam Trimming (IBT) • Physical Vapor Deposition (PVD) • Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) • Plasma Cleaning